跟著電子工業的打開，政府對電子作業VOCs排放越來越注重。各地政府也出臺了相關的排放規范，為電子工業VOC辦理供應了保證。盛華環保小編匯總了相關的規范，以供參閱。

國家層面：

2008年環保部印發《電子工業污染物排放規范 半導體器件》(征求意見稿)。規則VOCs的限值現有企業為80mg/m3，新建企業為60mg/m3。

2008年環保部印發《電子工業污染物排放規范 電子元件》(征求意見稿)。規則VOCs的限值現有企業為80mg/m3，新建企業為50mg/m3。

2008年環保部印發《電子工業污染物排放規范 電子終端產品》(征求意見稿)。規則VOCs的限值現有企業為70mg/m3，新建企業為50mg/m3。

2008年環保部印發《電子工業污染物排放規范平板顯示器、電真空及光電子器件》(征求意見稿)。規則VOCs的限值現有企業為100mg/m3，新建企業為80mg/m3。

2015年環保部印發《電子工業污染物排放規范》(征求意見稿)規則非甲烷總烴容許排放濃度為100mg/m3，特別排放限值是80mg/m3，沒有觸及TVOCs。

2018年環保部印發《電子工業污染物排放規范》(二次征求意見稿)規則非甲烷總烴容許排放濃度為100mg/m3，TVOCs是150mg/m3。特排限值分別為50、100。

當地層面：

北京市《大氣污染物歸納排放規范》(DB11/501-2007)中規則半導體及電子產品制作VOCs的限值現有企業為50mg/m3，新建企業為20mg/m3。

天津市《工業企業揮發性有機化合物排放操控規范》(DB12/524-2014)。規則電子工業VOCs容許排放濃度為80mg/m3。

上海市《半導體作業污染物排放規范》(DB31/374-2006)。規則VOCs容許排放濃度為100mg/m3。

2017年廣東省《電子工業揮發性有機物排放規范》(征求意見稿)。規則VOCs容許排放濃度為30mg/m3。

2017年廣東省《電子設備制作業揮發性有機化合物排放規范》(征求意見稿)。規則VOCs容許排放濃度為40mg/m3。

2018年江蘇省《半導體作業污染物排放規范》(征求意見稿)。規則非甲烷總烴容許排放濃度為60mg/m3。

2018年北京市《電子工業大氣污染物排放規范》(征求意見稿)。規則非甲烷總烴容許排放濃度為20mg/m3，TVOCs是40mg/m3。

高溫等離子燃燒技能:

高溫等離子燃燒技能是高頻(30KHz)高壓(10萬伏)大功率電源在特定條件下的聚能放電。工業廢氣在反應器中由常溫急劇上升至3千度高溫，在高溫、高電勢的兩層作用下，有機污染成分(VOCs)瞬間被電離并完全裂解。

經高溫等離子燃燒處理，工業廢氣中有機物(VOCs)裂解成為碳、二氧化碳、水蒸氣等單質物質。

廢氣處理工藝示意圖：

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催化燃燒設備高溫等離子燃燒設備特色:

健壯的功率和專業的規劃使工業廢氣瞬間成為3千度的高溫等離子體，有害物質根除率大于98%，契合國家指定排放規范。

不銹鋼一體化結構， 耐腐蝕，牢靠

智能化長途操控，無需專職人員值守。

我們提出“高溫等離子RTO燃燒”這一概念(發明技術)，是把握該技能并實踐應用的企業。為工業廢氣辦理拓荒了一條全新的途徑。

“高溫等離子燃燒”技能比較“傳統RTO(天然氣燃燒辦法)”有以下優勢：

1、 連續不間斷的處理廢氣，(天燃氣RTO為間歇作業形式)這在廢物燃燒尾氣，凹版印刷有機廢氣處理應用方面尤為重要。

2、性：能夠處理高濃度、成分雜亂、易燃易爆及含有許多水分、固態、油狀物的工業廢氣，結束合格排放。

3、uv光氧催化不消耗天然氣，無碳排放問題。沒有閥門等運動部件，能夠無故障，不間斷運轉上萬小時。

4、 風阻小，能耗低：處理2萬立方米/小時的燃氣RTO，為打敗陶瓷蓄熱體風阻就需求功耗為90千瓦的引風機。

而處理2萬立方米/小時的高溫等離子燃燒設備(25千瓦)，連同引風機(21千瓦)僅消耗46千瓦功率。

當VOCs類廢氣排放濃度低于200mg/m3，選用低功率密度高溫等離子處理設備，每1萬m3功耗僅為10kW。

不管從資金投入仍是從營運本錢考量，本方案要遠勝于濃縮吸附+RTO燃燒方案。

5、能效比高：節約能源，高溫等離設備廢氣排放口溫度，比廢氣進口溫度僅進步幾十度。

6、處理作用好：二惡英等難以處理的物質，瞬間完全分解，結束合格排放。(是廢物燃燒尾氣排放二惡英問題的志向處理方案)

7、無臭氧排放問題(低溫等離子設備存在臭氧排放問題)。

8、經濟適用：相同規范的高溫等離子設備，價格不到燃氣燃燒RTO的二分之一，運營本錢低于二分之一。

9、占地面積小，自動化程度高節約人力，運營本錢低。

10、不會發作二次污染。無異味，對人口居住密布區域而言這是一個重要的考量目標。

11、天燃氣燃燒法RTO造價昂揚，許多消耗天燃氣、氧氣，增加二氧化碳、一氧化碳排放，有二次污染之慮，無法應對日漸嚴格的環境保護規范。天燃氣燃燒法因其作業機理及自身結構上的缺點，在易燃易爆場所，或處理廢氣中含有可燃成分時需求考慮防爆問題。天燃氣運送儲存進程或許存在因走漏而引發的問題

高溫等離子燃燒技能在工業廢氣處理方面的應用是一個劃時代的技能變革。

高溫等離子燃燒技能將逐步代替天燃氣RTO，廢氣處理設備廠家成為新興產業。